KMR磁石に新しい応用分野開ける ―マグネットマスクホルダ―

製品・研究開発

2003年09月20日

当社独自の技術により商品化されたKMR磁石(FeCrCo圧延磁石)は、切削や圧延ができる磁石として電子部品に広く利用されています。 この度、新たにKMR磁石を利用したマグネットマスクホルダーを商品化しました。 マグネットマスクホルダーは水晶振動子、セラミックス基板などの表面に薄膜を蒸着するときに使用します。

新開発されたマスクホルダーの特徴は

  1. 1複雑形状の孔がエッチング加工により可能
  2. 2ホルダー全面に縞状の磁力が入れられる

このような特徴をもったKMR磁石製マスクホルダーは

  1. 1マスクへの密着力がよく、蒸着の回り込みが少ない
  2. 2従来ホルダーに埋め込んでいた磁石が不要なため処理数が向上する
KMR磁石製マスクホルダー(特許出願中)

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素形材営業部

03-3536-3122