KMR磁石に新しい応用分野開ける ―マグネットマスクホルダ―
製品・研究開発
2003年09月20日
当社独自の技術により商品化されたKMR磁石(FeCrCo圧延磁石)は、切削や圧延ができる磁石として電子部品に広く利用されています。 この度、新たにKMR磁石を利用したマグネットマスクホルダーを商品化しました。 マグネットマスクホルダーは水晶振動子、セラミックス基板などの表面に薄膜を蒸着するときに使用します。
新開発されたマスクホルダーの特徴は
- 1複雑形状の孔がエッチング加工により可能
- 2ホルダー全面に縞状の磁力が入れられる
このような特徴をもったKMR磁石製マスクホルダーは
- 1マスクへの密着力がよく、蒸着の回り込みが少ない
- 2従来ホルダーに埋め込んでいた磁石が不要なため処理数が向上する
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素形材営業部